微波真空干燥設(shè)備零部件清洗方法的選擇對后續(xù)的干燥過程沒有影響。除了使用微波真空干燥設(shè)備零部件自身的加熱清洗流程中的對流干燥或循環(huán)利用熱空氣進(jìn)行空氣干燥外，真空干燥也是微波真空干燥設(shè)備零部件干燥環(huán)節(jié)中一個(gè)有效且快速的方法。

微波真空干燥設(shè)備零部件通常在加工或打磨工作之后，或熱處理后進(jìn)行清洗。清洗方法基本上可分為兩類：水溶液清洗和溶劑清洗。當(dāng)然也有一些特殊的過程。選擇的清洗方法取決于多種因素。合適的清洗方法須根據(jù)微波真空干燥設(shè)備零件的材料，污垢的類型（不同類型的油、油脂、乳液、灰塵等）或部件的幾何形狀（表面結(jié)構(gòu)、孔、咬邊等）進(jìn)行選擇。

對清潔后的微波真空干燥設(shè)備零部件進(jìn)行隨后的干燥是必不可少的。因?yàn)樵谒�性介質(zhì)的情況下，即使小的殘余水分也會對微波真空干燥設(shè)備造成腐蝕損壞，從而導(dǎo)致高昂的后續(xù)費(fèi)用。未干燥的溶劑可導(dǎo)致工件被分解。對流干燥是簡單的干燥方法。組件在清洗過程中被加熱到70至80℃之間，使附著的水分蒸發(fā)。

循環(huán)空氣干燥是熱空氣在微波真空干燥設(shè)備零部件上方流動，致使水分蒸發(fā)。這兩種方法都適用于幾何形狀簡單的微波真空干燥設(shè)備零部件。而真空干燥是非�？煽壳矣行У模�它甚至可以保證幾何形狀復(fù)雜的微波真空干燥設(shè)備零件快速干燥，并且對于涉及水溶液和溶劑的清洗微波真空干燥設(shè)備零部件方法均可使用。